摘要：電子氣體主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)產(chǎn)品、材料等在制備過(guò)程中的蝕刻、成膜、摻雜和外延等工藝，是半導(dǎo)體制造過(guò)程中不可或缺的基礎(chǔ)性支撐材料。目前，全球?qū)用嫔想娮託怏w市場(chǎng)寡頭格局明顯，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)也大部分依賴(lài)進(jìn)口，我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)想要在發(fā)達(dá)國(guó)家壟斷的格局下謀求發(fā)展，電子氣體行業(yè)的發(fā)展也是重要的一環(huán)，電子氣體國(guó)產(chǎn)化呼聲日益增高。

近年來(lái)，我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)以及集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展快速，對(duì)電子氣體需求也進(jìn)一步提升，電子氣體發(fā)展規(guī)模逐年上漲，雖然國(guó)內(nèi)電子氣體市場(chǎng)被國(guó)外企業(yè)占據(jù)了85%，但隨著國(guó)內(nèi)企業(yè)在電子氣體生產(chǎn)領(lǐng)域的突破，國(guó)產(chǎn)化替代趨勢(shì)日漸明朗。

電子氣體應(yīng)用情況

電子氣體的種類(lèi)繁多，有近百種電子氣體應(yīng)用在半導(dǎo)體制造中，主要的也多達(dá)30余種，是集成電路等半導(dǎo)體工業(yè)制造所需的必須材料，主要涉及的領(lǐng)域有集成電路、顯示、半導(dǎo)體照明、太陽(yáng)能電池等，在應(yīng)用的工藝方面主要可以分為外延用氣體、蝕刻氣體、摻雜氣體、離子注入氣體等。

表1 電子氣體應(yīng)用情況

(資料來(lái)源：公開(kāi)信息整理)

電子氣體行業(yè)規(guī)模有望繼續(xù)增長(zhǎng)

由于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品對(duì)其性能及參數(shù)極其重視，需要對(duì)制備工藝進(jìn)行嚴(yán)格的控制，對(duì)原材料、制造環(huán)境等等均有極高的要求，隨著芯片等產(chǎn)品精密化程度進(jìn)一步提高，對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制備的要求也越來(lái)越高，因此對(duì)電子氣體的要求，主要是在高純度方面的要求也同步提升，總體來(lái)看，電子氣體市場(chǎng)前景保持穩(wěn)定樂(lè)觀(guān)，未來(lái)有望受益于中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展持續(xù)增長(zhǎng)。

全球范圍來(lái)看，2016年集成電路用電子氣體的市場(chǎng)規(guī)模為35億美元，2018年集成電路用電子氣體的市場(chǎng)規(guī)模超過(guò)40億美元，年平均增速達(dá)到7%左右。

國(guó)內(nèi)范圍來(lái)看，2018年，我國(guó)電子氣體市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到了132.8億元，較2017年的112.4億元增長(zhǎng)了18.1%，增速較2017年同期增長(zhǎng)近8.8個(gè)百分點(diǎn)，多年保持較高水平的增長(zhǎng)。

圖1 國(guó)內(nèi)電子氣體市場(chǎng)規(guī)模

(資料來(lái)源：公開(kāi)信息整理)

電子氣體市場(chǎng)呈寡頭壟斷的格局

從電子氣體市場(chǎng)格局來(lái)看，國(guó)際上歐美及日本的幾家巨頭占據(jù)了94%的市場(chǎng)，其中美國(guó)氣體化工和法國(guó)液化空氣更是占據(jù)了20%以上的全球市場(chǎng)份額，行業(yè)整體高度集中，呈現(xiàn)出寡頭壟斷的格局。

圖2 全球電子氣體市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)格局

(資料來(lái)源：公開(kāi)信息整理)

國(guó)內(nèi)市場(chǎng)格局和全球相仿，隨著我國(guó)相關(guān)電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，對(duì)電子氣體的需求不斷提升，大型國(guó)際氣體公司在國(guó)內(nèi)建設(shè)生產(chǎn)基地，占據(jù)了我國(guó)電子氣體85%的市場(chǎng)份額。

圖3 國(guó)內(nèi)電子氣體市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)格局

(資料來(lái)源：公開(kāi)信息整理)

國(guó)內(nèi)電子氣體企業(yè)逐步放量，推進(jìn)國(guó)產(chǎn)化替代進(jìn)程

近幾年，國(guó)內(nèi)電子氣體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)起步并開(kāi)始步入快速成長(zhǎng)期，出現(xiàn)了江蘇南大光電材料股份有限公司、佛山市華特氣體有限公司、蘇州金宏氣體股份有限公司等一批電子氣體生產(chǎn)企業(yè)，在高純六氟化鎢、三氟化氮、氨氣等領(lǐng)域已經(jīng)取得了突破。

但是，由于國(guó)內(nèi)電子氣體的生產(chǎn)和供應(yīng)商規(guī)模較小、質(zhì)量穩(wěn)定性問(wèn)題和產(chǎn)品的包裝、儲(chǔ)運(yùn)等原因，國(guó)內(nèi)電子氣體的生產(chǎn)商還不能全面進(jìn)入集成電路等領(lǐng)域。要真正實(shí)現(xiàn)電子氣體的大規(guī)模本土化，擺脫對(duì)進(jìn)口材料的依賴(lài)，依然任重道遠(yuǎn)。

表2 國(guó)內(nèi)主要電子氣體企業(yè)及主要產(chǎn)品

(資料來(lái)源：公開(kāi)信息整理)

總結(jié)

我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)要實(shí)現(xiàn)從跟蹤走向引領(lǐng)的跨越，電子氣體的突破將是重要一環(huán)。需要國(guó)家落實(shí)和完善對(duì)該類(lèi)企業(yè)的財(cái)稅、資金等優(yōu)惠政策，加大財(cái)政資金、大基金和金融部門(mén)的扶持力度，引導(dǎo)集成電路廠(chǎng)家使用國(guó)產(chǎn)電子氣體，從而幫助企業(yè)把握發(fā)展機(jī)遇，加快企業(yè)技術(shù)進(jìn)步和做大做強(qiáng)。